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集成電路無塵車間設(shè)計裝修:送風(fēng)系統(tǒng)FFU單元及車間施工建設(shè)

集成電路無塵車間是滿足半導(dǎo)體制造工藝要求的潔凈室。該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、靜電放電、AMC控制等有一定要求。與其它工業(yè)潔凈室相比,集成電路無塵車間具有占地面積大、潔凈度高、溫濕度控制精度高等特點。 CEIDI凈化裝修公司相關(guān)文章推薦: 1. 半導(dǎo)體凈化車間裝修設(shè)計:弱電、智能化、純水、電氣、廢水處理... 2. 半導(dǎo)體凈化車間裝修設(shè)計:結(jié)構(gòu)維護、暖通、特種氣體、空壓...

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集成電路無塵車間是滿足半導(dǎo)體制造工藝要求的潔凈室。該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、靜電放電、AMC控制等有一定要求。與其它工業(yè)潔凈室相比,集成電路無塵車間具有占地面積大、潔凈度高、溫濕度控制精度高等特點。


集成電路無塵車間設(shè)計裝修




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一、集成電路無塵車間送風(fēng)系統(tǒng)FFU單元設(shè)計

集成電路無塵車間從送風(fēng)系統(tǒng)方式劃分一般也有三種形式:即集中送風(fēng)系統(tǒng)、隧道系統(tǒng)、FFU系統(tǒng),如圖所示:


集成電路無塵車間




集成電路無塵車間


集成電路無塵車間


這三種送風(fēng)系統(tǒng)各有特點,從不同的角度得出不同的結(jié)論。因此,我們不能簡單地說是好是壞。送風(fēng)系統(tǒng)模式的采用主要取決于業(yè)主和設(shè)計方關(guān)注的方面。然而,近年來,FFU系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣泛,尤其是在亞太地區(qū)。國內(nèi)也不例外。除習(xí)慣、經(jīng)驗等非技術(shù)因素外,原因如下:

1. 靈活性:在這三個系統(tǒng)中,F(xiàn)FU系統(tǒng)的靈活性好,特別適合當今集成電路生產(chǎn)技術(shù)的快速發(fā)展,因為隨著生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展,對潔凈度的要求更嚴格。隧道系統(tǒng)很難說是靈活的,隧道系統(tǒng)是一個以操作區(qū)為送風(fēng)區(qū),設(shè)備區(qū)為回風(fēng)區(qū)的空氣循環(huán)系統(tǒng)。集中送風(fēng)系統(tǒng)具有一定的靈活性,但潔凈系統(tǒng)改造時必須停機停產(chǎn)。如果我們想提高局部區(qū)域潔凈度,除了在無塵車間頂部增加HEPA/ULPA過濾器外,還需要增加循環(huán)機組,這使得改造難度大,對生產(chǎn)的影響更大。使用FFU系統(tǒng),可以方便地在局部增加FFU的數(shù)量或移動FFU的位置,而且可以在不停產(chǎn)的情況下進行,對生產(chǎn)影響很小。

2. 調(diào)控性:與集中送風(fēng)系統(tǒng)相比,F(xiàn)FU系統(tǒng)各區(qū)域的送風(fēng)交叉點相對較小,可以實現(xiàn)高精度的溫濕度控制。隨著電機和網(wǎng)絡(luò)控制技術(shù)的發(fā)展,F(xiàn)FU易于實現(xiàn)單控,且每個FFU的出風(fēng)速度在一定范圍內(nèi)幾乎可以任意調(diào)節(jié),很容易解決大跨度無塵車間遠近端氣流不均勻的問題。此外,F(xiàn)FU還可以根據(jù)實際使用需要停開或者少開啟一部分。

3. 可靠性:采用集中送風(fēng)系統(tǒng),如果有一臺送風(fēng)機組出現(xiàn)故障,除非能立即投入備用機組,否則不能保證整個系統(tǒng)的潔凈度;一旦隧道系統(tǒng)的循環(huán)機組停止運行,就不能保證循環(huán)機組所負擔(dān)潔凈區(qū)的潔凈度、溫度和濕度,也不能保證整個系統(tǒng)的潔凈度。而FFU系統(tǒng)這方面的風(fēng)險就很小,即使一臺FFU發(fā)生故障,其影響也很小。隨著網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控技術(shù)的發(fā)展, FFU系統(tǒng)因數(shù)量多給維護帶來的不便也得到了改善。

4. 氣密性與空間利用:FFU系統(tǒng)由于風(fēng)機直接設(shè)在工作區(qū)上方,因此工作區(qū)相對于回風(fēng)道及上靜壓箱為正壓,工作區(qū)以外污染物極少因泄漏進入上作區(qū):相反的,集中送風(fēng)系統(tǒng)和隧道系統(tǒng)工作區(qū)相對于上靜壓箱為較大的負壓,因此泄漏的風(fēng)險性比FFU系統(tǒng)要高得多。另外集成電路無塵車間采用集中送風(fēng)系統(tǒng)及隧道系統(tǒng),上靜壓箱與周圍環(huán)境的壓差很大,極易發(fā)生空氣泄漏,因此對上靜壓箱的氣密性要求很高,基本上不允許管線進人。而FFU系統(tǒng)的上靜壓箱相對于周圍環(huán)境只是微正壓,上靜壓箱內(nèi)可以布置或穿越諸如排風(fēng)和排煙等管道,使空間得到合理利用。

好的無塵車間設(shè)計,不僅能節(jié)約能源,降低運行成本,減少人力投入,而且為生產(chǎn)提供了保障。在三種潔凈系統(tǒng)中,FFU循環(huán)系統(tǒng)運行成本低,潔凈度和安全性高。因此,在集成電路無塵車間中,多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。潔凈度要求越高,溫濕度控制精度越高,潔凈室的投資和運行成本越高。因此,在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下,將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計趨勢。隨著集成電路制造技術(shù)的不斷升級,主流大型工廠已進入納米時代。集成電路無塵車間設(shè)計、施工和節(jié)能也需要不斷完善,為先進工藝產(chǎn)品的生產(chǎn)提供保障。


二、集成電路無塵車間的建設(shè)特點

1. 把關(guān)鍵的潔凈(加工)區(qū)盡量減少并與潔凈走道、潔凈維護及修理區(qū)等相隔,避免或減少人員、工藝及工藝設(shè)備散發(fā)的粒子的污染及交叉污染,以利用達到嚴格的控制潔凈度要求并減少電耗及費用。

2. 工藝與工藝設(shè)備的開發(fā)已需密切與潔凈技術(shù)相結(jié)合,如減少工藝本身及工藝設(shè)備散發(fā)的粒子,采用機器人傳送片盒或SMIF系統(tǒng)等傳送片盒避免人與硅片的直接接觸等。

3. 基于以上二點,集成電路亞微米加工,現(xiàn)有典型的無塵車間形式基本由二類:

① 隧道式無塵車間。無塵車間分隔成潔凈加工隧道(區(qū)),潔凈走道及潔凈維護修理隧道(區(qū))。加工區(qū)的潔凈度要求最嚴,其他區(qū)及走道潔凈度要求可低一些。目前國內(nèi)已有可作集成電路亞微米加工的無塵車間都是這種形式。

微環(huán)境系統(tǒng)無塵車間,這種無塵車間內(nèi)片盒的傳送采用SMIF系統(tǒng)(或類似的系統(tǒng)),它包括:存放片盒的潔凈容器(SMIF POD;能自動接受潔凈容器(SMIF POD)并打開容器把片盒送入(送出)設(shè)備的加工部位的機械手裝置(SMIFARM.SMIF ARM及加工部位以適用的材料封閉起來與無塵車間環(huán)境隔離,在這較小的空間送入嚴格要求的潔凈空氣,而無塵車間的潔凈度可為100~1000級(FS-209D),即≥0.5μm的粒子不多于100~1000/ft3。由于硅片避免或減少了受操作人員、工藝設(shè)備及工藝加工散發(fā)的粒子的直接污染或交叉污染,而“微環(huán)境”加工區(qū)空間又很小,從而能較有效的控制硅片受粒子的污染,并降低無塵車間造價及運行費用,操作人員亦可在不十分嚴格的潔凈環(huán)境內(nèi)工作。

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